NEWS & INSIGHTS
新闻活动
产品发布、方案验证与现场服务的进展记录，以及来自工艺一线的技术观察。
新品发布多区 ESC 控温系统完成客户端工艺验证
多区 ESC 控温系统在客户端完成连续工艺验证，整片温度均一性与微区补偿能力达到交付指标。
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方案精选自研 ESC 测试/校准平台投入使用
自研 ESC 测试/校准平台完成验收并投入使用，可覆盖 12 寸静电卡盘的检测、校准与老化验证。
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方案精选核心零部件检测与更换服务上线
面向刻蚀、薄膜沉积、CMP 与量测设备的核心零部件检测与更换服务正式上线，提供检测报告与更换记录。
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新品发布UPA 压力控制阀组完成系列化扩展
UPA 压力控制阀组新增 15 PSI 与 6 端口机型，形成覆盖低压到大流量的系列化产品组合。
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方案精选零部件维保计划服务正式上线
面向量产线的零部件维保计划服务上线，按机台工况制定巡检、更换与备件节奏，减少非计划停机。
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方案精选客户技术培训季开启，覆盖控温与压力控制专题
面向客户工程师的技术培训季开启，围绕多区控温调校、压力控制标定与故障排查设置三个专题。
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