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SERVICES & SUPPORT

服务与支持

测试平台、检测校准与维保服务,为产线的稳定运行提供可追溯的技术支撑。

自研测试平台

自研测试平台

自主搭建 ESC、UPA 与可靠性测试平台,模拟真实机台工况完成检测、校准与老化验证。

零部件维保服务

零部件维保服务

面向刻蚀、薄膜沉积、CMP 与量测设备,提供入厂检测、故障定位、原厂更换与复测交付。

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已整理 11 份产品规格书、技术手册与服务说明,提交申请后获取。

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产品规格书

系统构成、指标与接口定义

技术手册

安装、标定与故障排查

服务说明

检测项目、周期与报告样例

LET'S TALK

需要现场服务或驻场支持?

按产线节拍安排窗口,提供返厂检测、现场更换与驻场维护三种服务方式。