SERVICES & SUPPORT
测试平台、检测校准与维保服务,为产线的稳定运行提供可追溯的技术支撑。
自主搭建 ESC、UPA 与可靠性测试平台,模拟真实机台工况完成检测、校准与老化验证。
面向刻蚀、薄膜沉积、CMP 与量测设备,提供入厂检测、故障定位、原厂更换与复测交付。
DOCUMENTS
已整理 11 份产品规格书、技术手册与服务说明,提交申请后获取。
产品规格书
系统构成、指标与接口定义
技术手册
安装、标定与故障排查
服务说明
检测项目、周期与报告样例
LET'S TALK
按产线节拍安排窗口,提供返厂检测、现场更换与驻场维护三种服务方式。