DOWNLOAD CENTER
下载中心
共 11 份产品规格书、技术手册与服务说明，按产品线分组。填写申请信息后即可直接下载 PDF。
文档内容以随货版本为准；如需要未列出的机型规格书，可在「联系我们」提交型号，我们单独提供。 部分资料涉及工艺参数，需经商务确认后发送。
多区 ESC 控温解决方案
4 份多区 ESC 控温系统产品规格书
系统构成、控温指标、接口定义与安装条件
PDF233 KB更新于 2026.08.20
ESC 测试/校准腔体技术手册
腔体结构、真空与气路配置、校准流程说明
PDF233 KB更新于 2026.08.20
ESC 控温系统快速安装指南
开箱检查、上电顺序、通讯对接与自检步骤
PDF233 KB更新于 2026.08.19
多区控温算法与参数整定说明
前馈解耦、微区补偿与配方切换的参数整定方法
PDF237 KB更新于 2026.08.18
Heater 控温系统
3 份TS 系列加热控制器规格书
回路数、控温精度、通讯方式与报警逻辑
PDF229 KB更新于 2026.08.12
筒式加热器选型手册
功率密度、尺寸系列与安装公差选型对照
PDF225 KB更新于 2026.08.11
加热回路故障排查指南
常见断偶、超温、波动异常的定位与处置
PDF227 KB更新于 2026.08.10
UPA 压力控制阀组
2 份UPA 压力控制阀组规格书
压力范围、精度、响应时间与气路接口
PDF227 KB更新于 2026.08.06
UPA 压力标定作业指导书
标准件准备、标定步骤与数据记录模板
PDF226 KB更新于 2026.08.05
核心零部件检测与更换
2 份核心零部件检测服务说明
检测项目、周期、报告样例与送检流程
PDF231 KB更新于 2026.07.28
零部件更换与返修作业规范
拆装顺序、防静电要求、复测与追溯要求
PDF232 KB更新于 2026.07.27
LET'S TALK
没有找到需要的文档？
直接提交型号与需求，工程师会整理对应规格书或测试报告样例发送给您。