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多区 ESC 控温系统完成客户端工艺验证
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多区 ESC 控温系统在客户端完成连续工艺验证，整片温度均一性与微区补偿能力达到交付指标。
多区 ESC 控温系统近日在客户端完成连续工艺验证。验证覆盖升温响应、稳态均一性与长时间运行漂移三类工况，各项指标达到交付要求。
系统采用分区独立调控与全局协同补偿的控制架构，通过前馈解耦与自适应学习，在工艺配方切换后快速回到稳态。
验证要点
- 20 ℃ 至 60 ℃ 温升响应时间小于 200 ms，稳定时间小于 10 s
- 校准后整片 Range 小于 0.8 ℃，3-Sigma 稳定在 0.4 ℃ 至 0.6 ℃ 区间
- 微区控温通道可扩展至 400 区，支持边缘补偿与局部微调
交付形态
交付包含控制器、功率单元、传感回路与上位机软件。出厂前在自研测试平台完成整机联调，现场按工艺配方完成最终标定。
针对不同机台接口，可提供 EtherCAT、Modbus TCP 等通讯方式，并与设备主控完成安全互锁对接。
