自研 ESC 测试/校准平台投入使用

自研 ESC 测试/校准平台已完成验收并投入日常使用。平台模拟真实机台的电气、信号与负载环境，可对静电卡盘进行吸附力、温度均一性与绝缘性能的综合评估。

平台能力

• 适用 12 寸晶圆，真空度优于 10 mtorr，四路工艺气路独立控制
• ESC 控温范围 -20 ℃ 至 120 ℃，腔壁控温 20 ℃ 至 80 ℃
• 静电吸附电压 ±10 kV，支持全自动控制与日志、数据记录

为什么自建平台

外送检测周期长、数据颗粒度有限。自建平台后，零部件在出厂前即可完成多工况验证，问题在内部闭环，交付周期随之缩短。

平台同时承担研发验证任务，新算法与新结构可先在台架上完成对比试验，再进入客户端工艺验证。