UPA 压力控制阀组完成系列化扩展

UPA 压力控制阀组完成系列化扩展，在既有 6 PSI 机型基础上新增 15 PSI 与 6 端口机型，覆盖 CMP 工艺从低压精调到多区独立控压的不同需求。

系列构成

• 6 PSI 机型：低压区间分辨率高，适用于精抛阶段
• 15 PSI 机型：中压区间线性度好，适用于常规抛光压力
• 6 端口机型：多区独立控压，单口独立监测与标定

配套能力

全系列共用阀体平台与标定工装，维护窗口短。配套的 UPA 压力测试平台可完成出厂标定与早期失效筛选，降低上线后的批次风险。