零部件维保计划服务正式上线

零部件维保计划服务正式上线，面向刻蚀、薄膜沉积与 CMP 产线提供按周期执行的检测、校准与更换安排。计划以机台工况与历史失效数据为输入，输出年度维保日历与备件建议。

服务按季度回访，结合检测数据动态调整周期：失效前兆明显的零部件缩短巡检间隔，运行稳定的部件延长更换周期，避免过度维护。

计划包含

• 关键零部件清单梳理与失效模式分级
• 季度巡检、精度校准与备件更换排期
• 检测数据存档与趋势对比报告

适用场景

适合多机台并行、停机成本敏感的产线。首期按单条产线试点，运行两个季度后按数据扩展到其他产线。