ESC BIAS BACKPLANE
为静电卡盘提供高压偏压与多通道切换，支持工艺腔体安全互锁。
共 4 款在售型号，可按机台接口定制。
数据更新于 2026 年 09 月
8 通道静电卡盘控制背板，高集成度设计，支持多区偏压独立输出。
增强型 8 通道 ESC 背板，支持更高电压输出与冗余通道配置。
基础型 ESC 控制背板，适用于标准刻蚀工艺的偏压控制需求。
面向先进工艺节点的高压 ESC 背板，兼顾输出稳定性与响应速度。
LET'S TALK
提交工艺条件与设备型号，我们会在一个工作日内给出接口确认与交付周期评估。
