ESC控制背板
MODEL ESC-A1
面向先进工艺节点的高压 ESC 背板，兼顾输出稳定性与响应速度。
以下为出厂标称值，实际交付参数以双方确认的技术协议与随货规格书为准。
8 通道静电卡盘控制背板，高集成度设计，支持多区偏压独立输出。
增强型 8 通道 ESC 背板，支持更高电压输出与冗余通道配置。
基础型 ESC 控制背板，适用于标准刻蚀工艺的偏压控制需求。
LET'S TALK
提交 ESC控制背板 A1 的工艺条件与设备型号，工程师会给出选型建议、接口确认与交付周期。
