UPA PRESSURE CONTROL VALVE
UPA 压力控制阀组
面向 CMP 与相关工艺的压力控制阀组，支持多路独立调压与闭环反馈，覆盖低压精调到大流量多区控制的应用区间。
SPECIFICATIONS
关键参数
以下为标称指标，实际交付以技术协议与随货规格书为准。
UPA 压力控制阀组参数
| 压力范围 | 0 - 15 PSI |
|---|---|
| 控制精度 | ±0.05 PSI |
| 响应时间 | ＜100 ms |
| 通道数量 | 1 / 2 / 6 路可选 |
| 气源压力 | 0.4 - 0.7 MPa |
| 通讯方式 | EtherCAT / Modbus TCP |
| 供电 | 24 V DC |
| 工作环境 | 5 - 45 ℃，相对湿度 ＜85% |
01
结构说明
阀组由进气调压单元、压力检测单元与控制板卡三部分组成。进气调压单元负责粗调，检测单元以高分辨率传感器回采，控制板卡按目标曲线做闭环修正。
多路机型共用气源与排气汇流，减少管路数量；每路保留独立传感器与独立标定参数，便于差异化工艺设定。
- 单路独立传感器
- 共用气源与排气汇流
- 支持在线标定
02
标定与验证
出厂前在 UPA 压力测试平台完成全量程标定与早期失效筛选，标定点覆盖工艺常用区间与边界点。
现场安装后按作业指导书复标一次，记录基线数据，后续维护以基线为参照判断漂移。
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