控压阀组
MODEL PSI6
6 PSI 精密压力控制阀组，适用于 CMP 低压工艺区间。
以下为出厂标称值，实际交付参数以双方确认的技术协议与随货规格书为准。
增强型 6 PSI 阀组，更高响应速度与长期稳定性。
15 PSI 中压控制阀组，适用于常规 CMP 工艺压力区间。
6 端口多路压力控制阀组，支持多区域独立控压。
LET'S TALK
提交 6PSI控压阀组 的工艺条件与设备型号，工程师会给出选型建议、接口确认与交付周期。
