PRESSURE VALVE STACK
多路精密调压与闭环反馈，覆盖低压到大流量抛光工艺区间。
共 4 款在售型号，可按机台接口定制。
数据更新于 2026 年 09 月
6 PSI 精密压力控制阀组，适用于 CMP 低压工艺区间。
增强型 6 PSI 阀组，更高响应速度与长期稳定性。
15 PSI 中压控制阀组，适用于常规 CMP 工艺压力区间。
6 端口多路压力控制阀组，支持多区域独立控压。
LET'S TALK
提交工艺条件与设备型号，我们会在一个工作日内给出接口确认与交付周期评估。
