控温模块
MODEL IT-300
多区一体化控温方案，将主区与微区控制整合于同一控制柜。
以下为出厂标称值，实际交付参数以双方确认的技术协议与随货规格书为准。
同一硬件平台可按工艺需求配置多种软件方案，适配多样化工艺环境与场景。
增强型多通道控温平台，面向更高温区均匀性与快速升温节拍需求。
精密控温模块，适用于晶圆边缘补偿与局部温度微调区域。
LET'S TALK
提交 集成控温模块 IT-300 的工艺条件与设备型号，工程师会给出选型建议、接口确认与交付周期。
