ESC测试/校准平台

结合多台机台的现场经验，本文整理ESC测试/校准平台的完整方法论，并标注常见偏差的处置方式。

验收环节以工艺结果为准：除台架指标外，还需在真实机台工况下复核均一性、响应时间与长期稳定性。

相关平台与检测服务可结合产线节拍定制，具体接口与交付边界以双方确认的技术协议为准。