ESC测试平台在先进制程中的应用案例

结合多台机台的现场经验，本文整理ESC测试平台在先进制程中的应用案例的完整方法论，并标注常见偏差的处置方式。

验收环节以工艺结果为准：除台架指标外，还需在真实机台工况下复核均一性、响应时间与长期稳定性。

本文所列参数随工艺版本迭代可能调整，实际交付以最新版规格书为准。