ESC静电卡盘常见故障诊断与排除

面向量产导入场景，本文对ESC静电卡盘常见故障诊断与排除的技术要点、验收标准与风险项做逐条说明。

维护环节按周期执行：易损件按运行时长更换，关键接插件定期检查，异常趋势提前介入而非事后补救。

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