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8通道压力控制模组外观

控压模组

8通道压力控制模组

MODEL PC-8

8 通道高密度压力控制模组,适用于复杂 CMP 工艺。

  • 8 路高密度集成
  • 通道间解耦
  • 集中监测界面
通道数
8
压力范围
0–15 PSI
控制精度
±0.04 PSI
安装
机架

技术参数

以下为出厂标称值,实际交付参数以双方确认的技术协议与随货规格书为准。

下载完整规格书
8通道压力控制模组技术参数
通道数8
压力范围0–15 PSI
控制精度±0.04 PSI
安装机架

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