控压模组
MODEL PC-2
2 通道独立压力控制模组，适用于结构简单的工艺场景。
以下为出厂标称值，实际交付参数以双方确认的技术协议与随货规格书为准。
4 通道压力控制模组，在性能与成本之间取得平衡。
8 通道高密度压力控制模组，适用于复杂 CMP 工艺。
LET'S TALK
提交 2通道压力控制模组 的工艺条件与设备型号，工程师会给出选型建议、接口确认与交付周期。
