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示例半导体EXAMPLE SEMICONDUCTOR
量测-6PU外观

量测-6PU

量测-6PU

MODEL MET-6PU

六工位量测平台控制方案，兼顾定位精度与节拍效率。

  • 六工位协同
  • 定位重复性高
  • 节拍可配置
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工位数
6
重复定位
±2 μm
节拍
可配置
接口
EtherCAT

技术参数

以下为出厂标称值，实际交付参数以双方确认的技术协议与随货规格书为准。

下载完整规格书
量测-6PU技术参数
工位数6
重复定位±2 μm
节拍可配置
接口EtherCAT

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