LPM晶圆传送
MODEL LPM
LPM 晶圆传送模块控制板，支持多轴联动与安全互锁。
以下为出厂标称值，实际交付参数以双方确认的技术协议与随货规格书为准。
LET'S TALK
提交 LPM晶圆传送 的工艺条件与设备型号，工程师会给出选型建议、接口确认与交付周期。
