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CVD-Tetra Control外观

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CVD-Tetra Control

MODEL CVD-TETRA

四通道温控与信号调理一体板,适合多区薄膜沉积设备。

  • 四通道集成
  • 信号调理与隔离
  • 支持配方下发
控温通道
4
隔离耐压
2.5 kV
通讯
Modbus TCP
供电
24 V DC

技术参数

以下为出厂标称值,实际交付参数以双方确认的技术协议与随货规格书为准。

下载完整规格书
CVD-Tetra Control技术参数
控温通道4
隔离耐压2.5 kV
通讯Modbus TCP
供电24 V DC

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