HEATER TEMPERATURE CONTROL
Heater 控温系统
面向薄膜沉积与刻蚀工艺的加热控温系统，支持多回路集中管理、多段升温曲线与超温保护，适配筒式加热器的阵列化应用。
SPECIFICATIONS
关键参数
以下为标称指标，实际交付以技术协议与随货规格书为准。
Heater 控温系统参数
| 控温回路 | 2 / 4 / 8 路可选 |
|---|---|
| 控温精度 | ±0.5 ℃ |
| 设定范围 | 室温 - 600 ℃ |
| 升温斜率 | 0.1 - 20 ℃/min 可设 |
| 传感器类型 | K 型热电偶 / PT100 |
| 通讯方式 | EtherCAT / RS-485 |
| 报警输出 | 干接点 + 软件事件 |
| 供电 | 380 V AC / 220 V AC |
01
温区配置
按工艺温度区间选择加热器与控制器组合：低温段强调均一性，中温段强调响应速度，高温段强调长期稳定性与绝缘性能。
- 低温段：室温 - 200 ℃
- 中温段：200 - 450 ℃
- 高温段：450 - 600 ℃
02
回路保护
每个回路独立采集温度与电流，超温、断偶、短路三类异常分别处置。异常发生时保留最近一段运行数据，便于事后定位。
LET'S TALK
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